經(jīng)常聽(tīng)到有客戶抱怨說(shuō)打火嚴(yán)重，報(bào)廢率高，嚴(yán)重耽誤交貨期還影響產(chǎn)品的利潤(rùn)，尤其是鍍鋼塑合體的素材，或者特殊的畫油間電產(chǎn)品，打火更是嚴(yán)重，也找不到具體的原因，今天我們就來(lái)好好說(shuō)說(shuō)這到底是怎么回事？

首先打火我們要找到是什么原因造成的，要看是平面靶材還是旋轉(zhuǎn)靶材打火，因?yàn)榇蠹矣玫谋容^多的是旋轉(zhuǎn)靶材，這里著重介紹旋轉(zhuǎn)靶材，如果是旋轉(zhuǎn)靶材可能是磁場(chǎng)設(shè)計(jì)的問(wèn)題，也有可能是靶材本身純度的問(wèn)題。旋轉(zhuǎn)靶材兩端容易結(jié)瘤，有人認(rèn)為結(jié)瘤的地方是無(wú)效的，所以在靶材兩端用鈦材料代替，這樣可以解決打火問(wèn)題，但是會(huì)導(dǎo)致工作時(shí)電位不穩(wěn)定，因?yàn)榘胁霓D(zhuǎn)動(dòng)的時(shí)候，鈦與硅的交界電位活動(dòng)很大，導(dǎo)致電位不穩(wěn)，從而導(dǎo)致鍍膜過(guò)程中膜厚不穩(wěn)定。如果設(shè)備有觀察窗口，通過(guò)觀察窗口，當(dāng)玻璃經(jīng)過(guò)時(shí)，會(huì)發(fā)現(xiàn)此時(shí)輝光來(lái)回波動(dòng)。無(wú)論是平面靶還是旋轉(zhuǎn)靶材，設(shè)計(jì)磁場(chǎng)時(shí)，都應(yīng)該讓靶材表面的刻蝕面積越大越好。旋轉(zhuǎn)靶材濺射面剛好到靶材頂端，這是最理想的狀態(tài)，這樣能大大減少打火狀態(tài)的發(fā)生。濺射到頂端并不是因?yàn)橄胱尠胁睦寐矢唿c(diǎn)，而是讓靶材表面盡可能地干凈，這樣能大大減小靶材表面結(jié)瘤和打火現(xiàn)象。平面靶也是同樣的情況，中間的非刻蝕區(qū)域越小越好，這樣靶材表面更干凈，而且能提高靶材利用率。

排除了以上的原因，其實(shí)電源也是一個(gè)關(guān)鍵因素，英能公司針對(duì)這個(gè)問(wèn)題專門研發(fā)了一款雙極脈沖偏壓電源，可以很好的解決素材打火的情況，不良率可控制在3‰以內(nèi)，基本解決了打火的問(wèn)題，當(dāng)然英能的其他電源比如中頻磁控濺射電源、脈沖直流磁控濺射電源、脈沖電源、高壓直流電源都是不錯(cuò)的選擇，穩(wěn)定性是電源最大的亮點(diǎn)，都得到客戶的廣大認(rèn)可的直流電源的廠家 ，如有興趣進(jìn)一步深入了解請(qǐng)咨詢18025476062，我們將為您竭誠(chéng)服務(wù)，為您解決生產(chǎn)過(guò)程中遇到的各種棘手問(wèn)題，您的滿意是我們前行的動(dòng)力，小編24小時(shí)在線為您服務(wù)。