作者：深圳市英能電氣有限公司
時間：2023-09-22
電弧電源也就是我們常說的弧電源，在電弧離子鍍膜中靶材蒸發(fā)和電離的實現離不開弧電源提供能量，并且弧電源還能自動檢測滅弧現象并自動引弧，保證鍍膜過程中的連續(xù)性和膜層的均勻性；此外，弧電源的穩(wěn)弧性能尤其是最小穩(wěn)弧電流對膜層的一致性、效率性和光潔度影響很大。穩(wěn)定可靠的弧電源對整臺設備的性能至關重要?；‰娫磸膫鹘y電源式，發(fā)展到現在的高頻逆變式，與傳統電源相比不僅電源的體積、重量縮小，電源效率更是提高了20%~30%左右，電源的響應速度和調節(jié)精度更高。
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