作者：深圳市英能電氣有限公司
時間：2024-06-13
離子源電源是一種用于供給離子源的電源設備，其主要作用是為離子源提供所需的偏壓電壓，以控制離子束的能量和流強，從而實現(xiàn)對離子束的精確操控。
離子源電源通常采用直流電源的形式，其輸出電壓范圍一般在幾千伏至數(shù)十千伏之間。它是離子源系統(tǒng)中不可或缺的一部分，通過為離子源提供穩(wěn)定的偏壓電壓，實現(xiàn)對離子束的精確操控，從而滿足各種應用需求。
離子源電源的應用領域非常廣泛，包括但不限于離子注入、質譜分析、離子束刻蝕、離子推進器等。例如，在半導體制造中，離子注入是一個關鍵步驟，離子源電源提供的高電壓可以加速離子到所需的能量，并精確控制離子的注入深度和濃度。在質譜儀中，離子源電源為質譜儀提供所需的高電壓，以確保離子能夠順利產生、傳輸和分離。
此外，離子源電源還可以用于表面清洗和改性。通過控制氣體放電過程，使等離子體轟擊工件表面，可以消除表面附著的一些低分子物質，引起表面的物理形貌和化學結構的變化，使工件得到表面刻蝕和活化作用。
總之，離子源電源是一種重要的電源設備，在多個領域都有著廣泛的應用。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產與銷售為一體的高科技企業(yè)，主要產品：中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源，陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源，HIPIMS電源等。已獲高新技術企業(yè)、iso9001認證，擁有專利多份。產品已獲得ce、rohs認證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領域的解決方案。咨詢熱線：137-1700-7958
